日本yamashitadenso高倍率表面缺陷檢測(cè)設(shè)備

YIS 系列的高倍率檢測(cè)設(shè)備可在螢?zāi)簧铣尸F(xiàn)一個(gè)10mm的視場(chǎng)。
特別廣泛應(yīng)用于磊晶處理后的滑線檢查。同時(shí)也適用于硬碟或光學(xué)拋光元件。
檢測(cè)靈敏度約相當(dāng)于50倍的微分干涉像差顯微鏡。

• 即時(shí)顯示所有表面狀態(tài)。

• 光學(xué)系統(tǒng)對(duì)應(yīng)等級(jí)１。

• 光學(xué)系統(tǒng)無(wú)須維護(hù)。

• 根據(jù)檢測(cè)內(nèi)容，可修正檢測(cè)靈敏度。

日本yamashitadenso高倍率表面缺陷檢測(cè)設(shè)備

檢測(cè)尺寸	從φ100mm至φ300mm
檢測(cè)內(nèi)容	平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等
檢測(cè)倍率	1x / 3x 模式可切換（標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備）
檢測(cè)靈敏度	檢測(cè)靈敏度可連續(xù)調(diào)整
使用光源	550nm　（固定照度之穩(wěn)定光源）
鏡頭	高解析度CCD鏡頭
平臺(tái)	手動(dòng)平臺(tái)（標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備）

• ※ 可以隨時(shí)在敝公司內(nèi)展示。

• ※ 可將樣品寄送過(guò)來(lái)，之后我們?cè)賹⒂跋窠Y(jié)果回寄。

日本yamashitadenso高倍率表面缺陷檢測(cè)設(shè)備

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